Королев А.П., Баршутин С.Н. Автоматизация технологического проектирования РЭС

Учебное пособие. — Тамбов: ТГТУ, 2012. — 76 с.Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологий, физико-топологического проектирования и процессы получения наноструктурных материалов для элементов РЭС.
Предназначено для студентов специальности "Проектирование и технология радиоэлектронных средств" при изучении общеинженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радиоэлектронных средств», магистрантов направления «Материаловедение и технологии материалов» при изучении курсов «Основы технологии покрытий» и «Электровакуумные технологии получения пленок и многослойных покрытий» и бакалавров направления "Материаловедение и технологии материалов" при изучении курсов «Математическое моделирование процессов твердофазных технологий», «Технологические процессы микро- и наноэлектроники» и «Теория геретоструктур» всех форм обучения.