Младенов Г.М., Спивак В.М., Колева Е.Г., Богдан А.В. Наноэлектроника. Книга 1: введение в наноэлектронные технологии

Монография. в 2-х книгах. — Киев: София : Аверс, 2010. — 332 с.Цель монографии - введение читателей в проблематику и анализ современного со-
стояния наноэлектроники, в виде: сравнительно краткого предварительного анализа спосо-
бов исследования и получения современных и перспективных наноматериалов и технологии
создания на их основе электронных наноэлементов; общих принципов и свойств современ-
ной наноэлектроники.
Монография состоит из двух книг. Первая книга посвящена введению в наноэлек-
тронные технологии. Во второй книге рассматриваются результаты некоторых исследований
углеродных наноструктурированных материалов, в частности: наноструктурированного
кремния и кремниевых композитов, технологии их получения, свойства, области примене-
ния; обобщаются исследования самоорганизованных наноразмерных структур, а именно:
фуллеренов, углеродных нанотрубок, алмазоподобных пленок, графена.
Рассмотрены функциональные устройства таких разделов наноэлектроники как фо-
тоника, био- , крио-, молекулярная и магнитоэлектроника, спинтроника, сенсорные и элек-
тромеханические нанокомпоненты и системы.
Монография предназначена для широкого круга читателей – от специалистов до сту-
дентов вузов электронных направлений обучения.
Общие сведения о современной микро – и наноэлектронике
Основные методы анализа поверхностей и наноструктур
Технологические методы получения наноэлектронных элементов
Ионное и ионно-плазменное травление изображений в тонких пленках
Ионная имплантация быстрых ионов
Физические основы электронной литографии
Оборудование и технология электронной и ионной литографии
Литография с помощью механического зонда