Нелаев В.В., Стемпицкий В.Р. Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем

Учебное пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике”. — Минск: БГУИР, 2005. — 138 с.В пособии приведены общие сведения о модуле ATHENA программного комплекса фирмы Silvaco для компьютерного моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов формирования приборов микроэлектроники, а также технологического маршрута изготовления интегральной схемы в целом. Описывается порядок работы в модуле ATHENA под управлением интерактивной оболочки DECKBUILD с многочисленными примерами, содержится подробное описание директив для выполнения задания на моделирование вместе с полным их списком.
Для студентов специальностей “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”, “Квантовые информационные системы” всех форм обучения.Введение.
Программный модуль ATHENA.
Работа с модулем ATHENA в среде DECKBUILD.
Создание структуры прибора.
Входные/выходные файлы модуля ATHENA.
Создание исходной структуры.
Выбор моделей в программе SSUPREM.
Некоторые особенности модуля ATHENA.
Средства для преобразования моделируемой структуры.
Использование физических моделей при моделировании.
процессов осаждения и травления в модуле ELITE.
Адаптивное построение сетки.
Адаптация сетки при моделировании операции термообработки.
Интерфейс контроля сетки.
Режимы работы в среде DECKBUILD.
Директивы для моделирования в модуле ATHENA.
Правила и примеры работы с директивами.
Список директив модуля ATHENA.
Описание директив модуля ATHENA.
Литература.