Зацепин Д.А., Чолах С.О. Физические основы технологий микро- и наноэлектроники

Екатеринбург: ГОУ ВПО УГТУ-УПИ, 2006. — 236 с.В книге изложены основные направления развития микро- и наноэлектроники: рассмотрены физические основы функционирования интегральных микросхем (ИС) и их структурных элементов, приведены конструктивно-технологические варианты исполнения ИС, проанализированы физические особенности отечественных и зарубежных промышленных технологических процессов формирования топологии полупроводниковых радиоэлектронных устройств. Описаны конструкции перспективных структурных элементов микро- и наноэлектроники, а также методы их изготовления.
Учебник предназначен для студентов специальности "Физическая электроника" направления подготовки дипломированных специалистов "Электроника и микроэлектроника", аспирантов и научных работников.