Иванов-Есипович Н.К. Технология микросхем

Учебник для радиотехнических вузов и факультетов. — М.: Высшая школа, 1972. — 256 с.В книге рассматриваются вопросы технологии толстых композиционных пленок, вакуумтермической технологии, технологии полупроводниковых микросхем. Значительное внимание уделено ионноплазменному распылению, как способу получения тонкопленочных микросхем. Вопросы технологии освещаются с позиции физико-химических процессов, протекающих при изготовлении микросхем.