Матюнин С.А. Синтез и технология изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники

Методические указания. — Самара: Самар. гос. аэрокосм. ун-т, 2003. — 42 с.Даются основные положения теории спектрального взаимодействия во многокомпонентных оптоэлектронных элементах, рассматриваются вопросы проектирования и технологии изготовления тонкопленочных оптических элементов микроэлектроники с заданными характеристиками.
Методические указания могут быть использованы для подготовки к практическим занятиям и выполнения лабораторных работ по курсам "Интегральная оптоэлектроника", ’Технология деталей", "Спецвопросы микроэлектроники и технологии", "Функциональная микроэлектроника".Содержание
Условные обозначения и сокращения
Оптоэлектронные элементы и устройства систем управления, контрольно-измерительной и вычислительной техники
Обобщенная математическая модель МОС
Оптимальный синтез спектроформирующих элементов МОС
Технологические особенности изготовления МОС
Список литературы