Брук В.А., Гаршенин В.В., Курносов А.И. Производство полупроводниковых приборов

3-е издание, переработанное и дополненное. — Москва: Высшая школа, 1973. — 264 с.В учебном пособии описаны основные типы полупроводниковых приборов и интегральных схем, принцип действия, производство, измерения и испытания. Приведены сведения о материалах, применяемых в полупроводниковом производстве, контроле их качества и требованиях к ним.
Третье издание переработано и дополнено описанием новых технологических методов, используемых при производстве полупроводниковых приборов. Более полно рассмотрены прецизионная обработка полупроводниковых материалов, способы защиты поверхности р-n переходов нитридными и стеклянными пленками, технологические приемы изготовления фотошаблонов, корпусов и элементов интегральных схем.
Книга предназначена в качестве учебника для подготовки рабочих полупроводникового производства.Введение.
Основы физики полупроводниковых материалов.
Основы физики полупроводниковых приборов.
Полупроводниковые материалы.
Контроль качества полупроводниковых материалов.
Принцип действия
Механическая обработка полупроводниковых материалов.
Химическая обработка полупроводниковых материалов.
Процессы фотолитографии.
и невыпрямляющих контактов.
Методы защиты р—n переходов от внешних воздействий.
Конструкции корпусов полупроводниковых приборов.
Сборка и герметизация полупроводниковых приборов.
Технология изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Измерения и испытания полупроводниковых приборов.
Контрольные вопросы (к каждой главе).