Филяк М.М. Конструктивно-технологические основы микроэлектроники

Учебное пособие. — Оренбург: ОГУ, 2011. — 112 с.В учебном пособии представлены общие сведения о технологии интегральных микросхем, дана их классификация и кратко описаны основные технологические операции. Основное внимание уделено технологии полупроводниковых микросхем. Рассмотрены также операции изготовления гибридных интегральных микросхем.
Учебное пособие предназначено для студентов направлений подготовки 210200 – Проектирование и технология электронных средств и 210100 – Электроника и наноэлектроника.