М.: Техносфера, 2015. — 476 c. — ISBN: 978-5-94836-422-3.
Представленная читателю книга составлена из научных работ сотрудников и выпускников Национального исследовательского университета «МИЭТ» и касается развивающихся направлений нанотехнологий в электронике. Материал условно разделен на крупные части: «Теория, Моделирование, Эксперимент», «Материалы, Технологии», «Методы исследований», «Приборы и устройства». Следует отметить, что каждая из статей сборника представляет собой законченный труд научно-исследовательского либо аналитического характера и отражает современное состояние исследований в обсуждаемых авторами областях. Книга будет полезна специалистам в различных областях микро- и наноэлектроники, а также молодым исследователям – аспирантам и студентам-магистрантам.