Бекренев Н.В., Быков Д.В., Лясников В.Н., Тихонов А.Н. Нераспыляемые плазмонапыленные газопоглотители. Свойства. Технология. Оборудование. Применение

Монография. — Саратов: Саратовский университет, 1996. — 200 с.: ил. (В файле представлены страницы 2-171). — ISBN: 5-292-01554-7.В монографии приведены общие сведения о нераспыляемых газопоглотителях, рассмотрена их классификация. Особое внимание уделено особенностям формирования и свойствам плазмонапыленных газопоглощающих покрытий. Показано их преимущество перед другими геттерами и перспективы применения. Подробно изложена методика и описана аппаратура для исследования физикомеханических и сорбционно-десорбционных свойств газопоглощающих покрытий. Рассмотрена их взаимосвязь с технологическими режимами напыления. Изложены элементы теории и математического моделирования простых композиционных и дискретных геттерных структур газопоглотителей. Приведены рекомендации по разработке оптимальных технологических процессов плазменного напыления газопоглощающих покрытий, в том числе по их составу. Описано современное оборудование для плазменного напыления газопоглотителей и направления его совершенствования. Рассмотрены примеры применения плазмонапыленных газопоглотителей в изделиях электронной техники и электрофизической аппаратуре.Введение.
Нераспыляемые газопоглотители.
Свойства нераспыляемых газопоглотителей.
Математическое моделирование процесса геттерирования в структурах с сорбирующими стенками.
Технология получения плазмонапыляемых нераспыляемых газопоглотителей.
Оборудование для плазменного напыления газопоглотителей.