Минайчев В.Е., Одиноков В.В., Тюфаева Г.П. Магнетронные распылительные устройства (магратроны)

По данным отечественной и зарубежной печати за 1973—1979 гг. — Москва: ЦНИИ "Электроника", 1979. — 57 с. — (Обзоры по электронной технике. Серия 7. Технология, организация производства и оборудование. Выпуск 8 (0659)).Рассмотрены физические основы действия и конструктивные схемы магнетронных распылительных устройств (магратронов). Приведены основные сведения о технологических возможностях магратронов по нанесению тонких пленок. Описаны типичные конструкции установок для нанесения топких пленок с использованием магратронов.
Использовано 87 отечественных и зарубежных источников (журнальные статьи, книги, патенты и др.) в основном за 1973-1979 гг.
Обзор предназначен для специалистов, занимающихся как конструированием технологического оборудования, так и изготовлением ИС и полупроводниковых приборов, может служить учебным пособием для студентов вузов по специальности «Полупроводниковое машиностроение».Введение.Физические основы магратронов.
Принцип действия.
Механизм разряда в магратроне.
Локализация плазмы в магратроне.
Токи в плазме магратрона.
Вольт-амперные характеристики.
Напряжение зажигания разряда.
Рабочие параметры магратронов.Технологические аспекты.
Наносимые материалы.
Скорость осаждения.
Распределение толщины пленок.
Явления на подложке.
Адгезия пленок и распыление со смещением.
Распыление из жидкой фазы.Конструкции магратронов.
Магратроны с цилиндрическим катодом.
Магратроны с коническим катодом.
Планарные магратроны.
Магратроны с подвижным магнитным нолем.
Охлаждение мишеней в магратронах.Установки с магнетронными распылительными устройствами.
Классификация.
Установки периодического действия.
Установки полунепрерывного действия.
Установки непрерывного действия.Заключение.
Список литературы.