Пипко А.И., Пипко Ю.А., Плисковский В.Я. Вакуумно-термическое оборудование в производстве изделий электронной техники

М.: Машиностроение, 1986. — 56 с.В работе изложены вопросы применения вакуумно-термического оборудования, которое широко используется при изготовлении практически всех изделий электронной техники, начиная с осветительных ламп накаливания и кончая самыми современными интегральными схемами; приведены основные сведения по взаимодействию газов с твердыми телами, описано перспективное оборудование для термической очистки и обезгаживания материалов, для откачки и обезгаживания электровакуумных приборов, а также рассмотрены вопросы контроля рабочих сред, качества очистки и обезгаживания материалов, контроля процессов откачки.