Кулиш С.Н., Олейник В.П. Конструирование и технология специализированных микросхем и микросборок

Учебное пособие по лабораторному практикуму. — Харьков: Национальный аэрокосмический университет, Харьковский авиационный институт, 2001. — 84 с.Описаны лабораторные работы по изучению оборудования для изготовления оснастки и тонкопленочных элементов микросхем: программного координатографа, вакуумной установки, двухкоординатного измерительного прибора, технологических процессов производства оригиналов слоев микросхем и микросборок, производства пассивных тонкопленочных элементов, а также погрешностей их изготовления.
Детально рассмотрены лабораторные установки, порядок выполнения работ, обработка полученных результатов.
Для студентов специальности Производство электронных средств.